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平板顯示

平板顯示 - 氣體過濾的解決方案

在微電子的平板顯示器制造中，由于其市場競爭激烈，技術(shù)創(chuàng)新的多樣化，顯示器的分辨率逐步上升。

而更高分辨率的顯示器意味著更新的制造技術(shù)以及更具成本的生產(chǎn)工藝。涉及到環(huán)境空氣，工藝制程氣以及液體制程的污染控制要求比以往更高。

高等級制程需要將越來越小的污染物控制在更微小的濃度水平。在關(guān)鍵工藝步驟中，大面積面板上積累灰塵顆粒的可能性非常高，所以需要的送風(fēng)量和循環(huán)風(fēng)量很大，來提高空氣潔凈度，從而控制產(chǎn)品質(zhì)量。

在平板顯示的制造中，空氣過濾器的選擇主要以高效/超高效作為過濾器的末端過濾，結(jié)合中效初效過濾器以保證空氣過濾的整體循環(huán)。

在產(chǎn)品選擇上，主要以大風(fēng)量高容塵的袋式，無隔板過濾器為主。