半導(dǎo)體 - 空氣過(guò)濾的解決方案
在半導(dǎo)體行業(yè)中,其產(chǎn)品的生產(chǎn)制造對(duì)著空氣潔凈有著極高的標(biāo)準(zhǔn),空氣質(zhì)量的優(yōu)劣直接影響產(chǎn)品的良品率以及設(shè)備的使用壽命。
污染主要來(lái)源于空氣中的固體顆粒物以及氣態(tài)分子污染物。
半導(dǎo)體行業(yè)的空氣過(guò)濾主要以化學(xué)過(guò)濾器吸附氣態(tài)分子污染物(AMC),
中高效過(guò)濾器過(guò)濾細(xì)小顆粒物,初效過(guò)濾器過(guò)濾大型顆粒物的同時(shí)保障后續(xù)設(shè)備的使用壽命的一套過(guò)濾方案。
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