平板顯示的解決方案
平板顯示器市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)激烈,技術(shù)多樣。針對(duì)于此,制造商致力于開(kāi)發(fā)更高分辨率的顯示器、新的制造技術(shù)和更具成本效益的生產(chǎn)工藝。涉及到環(huán)境空氣,工藝制程氣以及液體制程的污染控制要求比以往更高。高等級(jí)制程需要將越來(lái)越小的污染物控制在更微小的濃度水平。在關(guān)鍵工藝步驟中,大面積面板上積累灰塵顆粒的可能性非常高,所以需要的送風(fēng)量和循環(huán)風(fēng)量很大,來(lái)提高空氣潔凈度,從而控制產(chǎn)品質(zhì)量。
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